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真空高温管式炉厂家

产品型号:

所属分类:多温区管式炉

产品时间:2018-04-24

简要描述:真空高温管式炉厂家,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD真空管式炉

详细说明:

真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。CVD真空管式炉CVD真空管式炉CVD真空管式炉
真空高温管式炉厂家参数:

一、真空系统

产品型号真空度(Pa)外形尺寸(mm)宽×高×长真空配置重量(kg)
HTF-1016.7×10-1430×460×590直联泵 
HTF-1036.7×10-3430×550×650直联泵+分子泵 
HTF-1046.7×10-4460×590×690直联泵+分子泵 

 二、供气系统

产品型号通道数量外形尺寸(mm)宽×高×长流量计种类重量(kg)
HTF-2F2230×260×390浮子流量计 
HTF-3F3290×490×450浮子流量计 
HTF-4F4290×490×450浮子流量计 

三、射频电源

产品型号功率外形尺寸(mm)宽×高×长配置重量(kg)
HTF-RF15 -300W可调330×410×260输出功率: 5 -300W,射频电源频率: 13.56 MHz,zui大反向功率: 200W 
HTF-RF25 -500W可调350×420×280输出功率: 5 -500W,射频电源频率:13.56 MH ,zui大反向功率: 200W 

本公司可定制各种CVD系统。 



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